产品详情
  • 产品名称:反射式膜厚量测仪

  • 产品型号:大塚电子
  • 产品厂商:大塚电子
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简单介绍:
反射式膜厚量测仪对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。 高精度,高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析
详情介绍:
可对应所有基板上多层膜测量的光干涉膜厚仪。实绩很多。
高精度,高感度从薄膜到厚膜的广范围多层膜分析


反射式膜厚量测仪的产品特点
  • 对应紫外到近红外(190~1600nm)广波长范围。
  • 利用高分辨率传感器,可对应厚膜以及超厚膜样品类型:0.8~1mm
  • 利用非线性*小二乘法薄膜解析软件,可解析多层薄膜的膜厚,光学常数(n:折射率,k:消光系数)等薄膜特性。
  • 利用背面反射补正,对应透明基板
  • 可测量微小光斑(*小3μm)的分光光谱
  • 可对应大型样品
光学系图
 
 

式样
样品尺寸 200mm*200mm*7mm(厚度)
测量膜厚范围 1nm-1mm
测量波长范围 190nm~1600nm
可测量层膜数 *大50层
传感器 电子冷却型光电二极管配列
电子冷却型CCDarea image sensor
 
测量项目
多层膜解析
光学常数解析(n:折射率k:消光系数)
优良反射率
 

测量实例
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