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  • 产品名称:薄膜测厚仪FE5000

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简单介绍:
薄膜膜厚测量仪 通过自动多角度椭圆偏振光测量仪实现 高速的薄膜膜厚测量和高精度的光学常数解析
详情介绍:
通过自动多角度椭圆偏振光测量仪实现
高速的薄膜膜厚测量和高精度的光学常数解析


可对应各种选配,膜厚的特制解析
 

椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围
  • FPD                           LCD,PDP,FED,有机El
  • 半导体                       a-Si,poly-Si,其他
  • 复合半导体                 半导体激光,强电介质                        
  • 数据储存                     DVD,HDD,磁气头                       
  • 光学材料                     膜,防放射膜      
  • 膜                              AR膜   
 
 

FE-5000S
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能,但是价格低,省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。


 
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000
高速高精度

 
纳米级的薄膜膜厚测量  
  • 非接触非破坏实现多层膜的解析
 
材料表面光学常数(n.k)的测量 
  • 可求得膜厚以及光学定数的波长分散
[膜厚,光学定数  (n:折射率、K:消光系数)、椭圆偏光仪(tanψ、cosΔ)]  
  • 提供膜厚管理膜质管理有用的信息
 
通过400ch以上的多通道光谱法,迅速测量椭圆光谱
  • 可实现一分钟以内的高速测量
  • 光谱点多,所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
 
 

利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变,对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价
  • 利用有效媒质近似(EMA)可测量复素折射率的波长分散,混合结晶的混合比,界面的厚度等。
  • 利用各种光学常数函数和膜model解析,可对应薄膜界面等的材料物性评价
  • 利用多层膜fitting解析的光学常数测量实现了膜厚膜质管理
  • 通过光学常数数据基础化和菜单登陆功能,改善了操作性


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