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  • 产品名称:PSEL单晶取向测试系统

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简单介绍:
PSEL单晶取向测试系统有效输入探测面约: 155*105 mm *小输入有效像素尺寸83um,1867*1265 像素阵列 可选曝光时间从1ms 到35分钟 PSEL单晶取向测试系统芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏度
详情介绍:

PSEL单晶取向测试系统


  • 背散射劳厄测试系统,实时确定晶体方向,精度高达0.1度;
  • PSEL 软件定向误差低至 0.05度;
  • 多晶硅片二维定向mapping;
  • 大批量样品筛选;
  • 超20kg重负荷样品定位

  水平放置系统

 

特征

优点

<200um 光束尺寸

可测量小 晶体

电动位移台

可沿生长轴轴向扫描

电动角位移

与同步加速器/中子设备直接兼容

手动角位移

与切割刀具直接兼容

 

垂直放置系统

    

特征

优点

<200um 光斑

适用于小晶粒的多晶结构

大范围电动线性扫描位移台

允许自动晶圆mapping或多个样品

电动Z 轴驱动

适用大尺寸晶棒或样品

手动角位移

允许定位到+/- 0.02度精度

 

配备PSEL CCD 背反射劳厄X-RAY 探测器

  • 有效输入探测面约: 155*105 mm
  • *小输入有效像素尺寸83um,1867*1265 像素阵列
  • 可选曝光时间从1ms 到35分钟
  • 芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏度
  • 自动背景扣除模式
  • 16位高精度采集模式
  • 12位快速预览模式
  • PSEL 劳厄影像采集处理专业软件 

劳厄影像校准软件:

  • 自动检测衍射斑点,并根据参考晶体计算斑点位置;
  • 根据测角仪和晶体轴自动计算定向误差(不需要手动拟合扭曲的图形)
  • 以CSV格式保存角度测量值,以进一步保证质量的可追溯性;
  • 顶部到底部的终端用户菜单,允许**结晶学用户自行逐步确认定位程序;
  • 基于Python的软件,允许使用套接字命令对现有软件/系统进行远程访问控制;

 

系统附件包括

  • 劳厄X-RAY 探测器
  • 劳厄校准软件
  • 高亮度X-RAY 发生器
  • 电动/手动 角位移台& 高精度位移台;
  • 样本定位/视频监控 摄像头;
  • 激光距离传感器/操纵杆

典型劳厄衍射应用图样:

 

PSEL单晶取向测试系统应用方向:

  • 探测器材料: HgCdTe/CdTe, InGaAs,  InSb;
  • 窗口玻璃材料&压电/铁电陶瓷: Al2O3, Quantz,LiNbO3
  • 金属合金: 钨,钼,镍基合金;
  • 激光晶体材料: YAG, KTP, GaAs
  • 薄膜/半导体基地材料: AIN, InP SiC;
  • 磁性&超导材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe, NbSn/NbTi
  • 闪烁体材料: BGO/LYSO, CdWO4, BaF2/CaF2; 
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