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安徽量芯光电申请探测器金属底电极制备方法专利,显著提升探测器成品率

2026年07月10日 15:10
 

国家知识产权局信息显示,安徽量芯光电科技有限公司申请一项名为“一种探测器金属底电极的制备方法”的专利,公开号CN121968745A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种探测器金属底电极的制备方法,属于半导体制备技术领域。本发明的方法中通过“刻蚀‑沉积‑刻蚀返回”的工艺,从根本上避免了传统“剥离”工艺中因溅射各向异性而在电极边缘产生的“围栏”或“耳朵”效应;最终制备的金属底电极表面与周围的钝化层高度基本齐平,表面粗糙度极低,为后续工艺提供了近乎完美的平坦化基底。本发明中制备的金属底电极平整非常高,确保了后续金属柱的沉积形貌和高度具有一致性;在倒装焊键合时,压力能够均匀分布,避免出现应力集中,从而显著减少了因底电极不平整导致的像素开路、短路或探测器材料损伤等问题,直接提升了探测器的成品率。

天眼查资料显示,安徽量芯光电科技有限公司,成立于2024年,位于滁州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽量芯光电科技有限公司参与招投标项目3次,专利信息17条,此外企业还拥有行政许可2个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。