光本位科技申请具有高响应度的锗探测器及制备方法,显著提高探测器的响应度:探测器

金融界2025年7月15日消息,国家知识信息显示,光本位科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种具有高响应度的锗探测器及制备方法”的,公开号CN120322027A,申请日期为2025年04月探测器

摘要显示,本发明公开了一种具有高响应度的锗探测器及制备方法探测器 。该锗探测器包括硅衬底以及沉积在硅衬底上的绝缘层;所述绝缘层上设置有光波导;所述光波导上开有深达所述绝缘层的刻蚀槽或嵌入所述绝缘层的刻蚀槽;所述刻蚀槽内填充有锗带作为光吸收区,并且刻蚀槽两侧设置有电极。所述锗带的底部与所述绝缘层的上表面平齐,或者所述锗带的底部嵌入所述绝缘层,而所述锗带的顶部凸出于所述光波导的上表面。本发明通过加深刻蚀槽,增加锗带厚度,有效解决了光吸收不足的问题,显著提高了探测器的响应度,使其能够更好地满足对光信号高灵敏度探测的需求。

天眼查资料显示,光本位科技(苏州)有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业探测器 。企业注册资本322.1128万人民币。通过天眼查大数据分析,光本位科技(苏州)有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目4次,信息32条,此外企业还拥有行政许可6个。

来源:金融界

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