上海新微技术研发中心申请红外探测器的制备方法及红外探测器,消除现有工艺中因分步光刻锚柱基部与反射镜而导致套刻误差的问题:红外探测

金融界2025年6月18日消息,国家知识信息显示,上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“红外探测器的制备方法及红外探测器”的,公开号CN120161682A,申请日期为2025年03月红外探测

摘要显示,本发明涉及一种红外探测器的制备方法及红外探测器,方法包括:S1:在衬底上依次形成反射镜金属层和第一钝化层;S2:在第一钝化层上形成反射镜图案;S3:根据反射镜图案刻蚀去除部分第一钝化层,以形成锚柱生成区;S4:在衬底上再依次形成锚柱金属层,锚柱金属层填充锚柱生成区并覆盖第一钝化层;S5:在锚柱金属层上形成锚柱基部图案,锚柱基部图案围设在反射镜图案的外侧;S6:通过锚柱基部图案、反射镜图案刻蚀锚柱金属层和反射镜金属层,以形成锚柱基部和反射镜红外探测

天眼查资料显示,上海新微技术研发中心有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业红外探测 。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了21家企业,参与招投标项目476次,财产线索方面有商标信息52条,信息696条,此外企业还拥有行政许可44个。

来源:金融界

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