金融界2025年6月25日消息，国家知识信息显示，FEI公司申请一项名为“采用可变带电粒子束参数进行成像的组成映射以及能量散X射线光谱技术”的，公开号CN120195207A，申请日期为2024年12月x射线成像探测器 。
摘要显示，本公开涉及采用可变带电粒子束参数进行成像的组成映射以及能量散X射线光谱技术x射线成像探测器 。一种映射样品内的组成变化的方法包括：使用第一组电子束参数来获取该样品的表面的电子反向散射图像；从该电子反向散射图像识别该样品上将要通过能量散X射线光谱技术(EDS)进行分析的区域或点的多个位置；使用不同于该第一组电子束参数的第二组电子束参数来从所识别的位置或点中的每一个位置或点获取EDS光谱；以及从该多个EDS光谱生成该样品上的组成变化映射。
来源：金融界